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Bottom Plate(ceramic) 4.5G~6G

2010/05/31

For TFT PVD Process

OEM PN：715-018991-206
Aluminum - Upper Electrode
OEM PN：0200-30086
Aluminum - Shower Head
OEM PN：0200-30580
Aluminum - Blocker
OEM PN：1D05-300052-13
Quartz - A7 Rng
OEM PN：0200-20426
Quartz - Insulator Pinless Quartz
JK50008
Rest Bottom(Ceramic)
JK2795
Grounding Strip(AL)
JK42403
View Port Window(Quartz)
依各代數型號
Insulator Ring(Teflon)3.5G~7.5G
依各代數型號
Roller Bushing & Golf Tee(ceramic) 4.5G~6G
依各代數型號
LCD Bearing(ceramic)
依各代數型號
Bottom Plate(ceramic) 4.5G~6G
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