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產品特長
真空可變電容器的靜電容量控制需要的控制部分全部模塊化。
僅通過簡單的串行指令，即可實現複雜的阻抗整合控制。
最適合用於半導體製造設備的高頻等離子匹配電路以及RF電源迴路。
- 真空可變電容器的靜電容量通過串口通訊（RS232C）可以進行簡單的設定。提供附帶的馬達，可以縮短馬達部分的開發與設計時間。
- 使用光學式編碼器隨時監控步進馬達的狀態。可自動恢復馬達意外狀態。馬達與真空可變電容器通過高絕緣（絕緣耐壓10kVp）進行耦合連接。
- RS232C 可以進行級聯連接。複數的馬達真空電容器可以從上位系控制器使用一根串口線進行控制。
●簡單導入
●高可靠工作
●可以級聯連接
構成概要圖
級聯連接例
